產(chǎn)品特性:
?配合使用好光柵尺的反饋信號和細(xì)分驅(qū)動功能,可以極大地減少絲杠導(dǎo)程誤差的影響。
?采用了線膨脹系數(shù)小的光柵尺,受周圍溫度環(huán)境的影響小,可靠性好,定位精度高。
? 適用于要求亞微米量級的準(zhǔn)確定位,或者存在溫度變化時的長時間驅(qū)動等場合。
注意事項(xiàng):
?為了保證樣本所示的技術(shù)指標(biāo),閉環(huán)控制KST(GS)系列平臺,推薦將細(xì)分?jǐn)?shù)設(shè)定為大于1001個脈沖的位移小于0.05μm)的數(shù)值。
產(chǎn)品鏈接:
/filespath/files/20170105215803.pdf